不锈钢衬底柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池阻挡层制备方法

基本信息

申请号 CN201510794472.3 申请日 -
公开(公告)号 CN105449010B 公开(公告)日 2018-07-31
申请公布号 CN105449010B 申请公布日 2018-07-31
分类号 H01L31/0216;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 张宁;余新平;张伟;孙哲 申请(专利权)人 北京四方智和科技发展有限公司
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京四方创能光电科技有限公司;北京四方继保自动化股份有限公司
地址 100085 北京市海淀区上地四街9号四方大厦
法律状态 -

摘要

摘要 一种不锈钢衬底柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池绝缘阻挡层制备方法。所述柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池结构包括不锈钢衬底、阻挡层、背电极、吸收层、缓冲层、窗口层、顶电极和减反射层。其特点在于在可弯曲的柔性不锈钢衬底上通过磁控溅射方法制备一层或多层绝缘化合物薄膜作为阻挡层。本发明与现有技术相比,一方面可以有效阻挡衬底材料中的某些杂质元素对铜铟镓硒吸收层的影响,另一方面可以在背电极与柔性衬底之间形成绝缘层,阻碍电流导通。本发明所述的绝缘阻挡层不仅工艺简单、易于控制、成本低廉、生产效率高,而且可以显著提高铜铟镓硒吸收层的电学性能,对于改善柔性衬底CIGS薄膜电池的均匀性和光电转换效率有明显效果。