微型半导体气敏传感器
基本信息
| 申请号 | CN201922420387.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211445041U | 公开（公告）日 | 2020-09-08 |
| 申请公布号 | CN211445041U | 申请公布日 | 2020-09-08 |
| 分类号 | B81B7/02(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 刘瑞 | 申请（专利权）人 | 安徽芯淮电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 安徽芯淮电子有限公司 |
| 地址 | 235000安徽省淮北市经济开发区梧桐路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种微型半导体气敏传感器，其包括敏感测试结构以及封装结构，该封装结构包括遮光透气盖板，遮光透气盖板与敏感测试结构密封结合形成一气体腔室，敏感测试结构包括玻璃基底以及依次叠层设置在玻璃基底第一面上的加热层、绝缘层以及气体敏感材料层，所述气体敏感材料层还与设置在所述绝缘层上的测试层电连接。本实施例提供的微型半导体气敏传感器，其加工工艺简单、可靠，其该传感器整体具有良好的热绝缘性能；而且该传感器具有更牢靠的结构，进而可以在受冲击、振动的环境下使用。 |
