集成式微型振动传感器
基本信息
| 申请号 | CN201922420285.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210922827U | 公开（公告）日 | 2020-07-03 |
| 申请公布号 | CN210922827U | 申请公布日 | 2020-07-03 |
| 分类号 | G01H11/06 | 分类 | - |
| 发明人 | 刘瑞 | 申请（专利权）人 | 安徽芯淮电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 安徽芯淮电子有限公司 |
| 地址 | 235000 安徽省淮北市经济开发区梧桐路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种集成式微型振动传感器，其包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层，所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧，并经所述隔离层密封结合成一体。本实用新型提供的集成式微型振动传感器结构简单、制备工艺简便、灵敏度高、性能稳定、一致性好、成本低，具有广阔应用前景。 |
