柔性电容式振动传感器及其制作方法

基本信息

申请号 CN201911372282.7 申请日 -
公开(公告)号 CN111024213B 公开(公告)日 2021-03-30
申请公布号 CN111024213B 申请公布日 2021-03-30
分类号 G01H11/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 刘瑞 申请(专利权)人 安徽芯淮电子有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 赵世发
地址 235000安徽省淮北市经济开发区梧桐路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种柔性电容式振动传感器及其制作方法。该柔性电容式振动传感器包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层,所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧,并经所述隔离层密封结合成一体。本发明实施例提供的一种柔性电容式振动传感器,结构简单、制备工艺简便、灵敏度高、性能稳定、一致性好、成本低;以及,本发明提供的制作工艺可靠性更高,大大提高了柔性振动传感器的灵敏度;而且提高了器件的稳定性和良率。