柔性电容式振动传感器及其制作方法
基本信息
申请号 | CN201911372282.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111024213B | 公开(公告)日 | 2021-03-30 |
申请公布号 | CN111024213B | 申请公布日 | 2021-03-30 |
分类号 | G01H11/06(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 刘瑞 | 申请(专利权)人 | 安徽芯淮电子有限公司 |
代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 赵世发 |
地址 | 235000安徽省淮北市经济开发区梧桐路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种柔性电容式振动传感器及其制作方法。该柔性电容式振动传感器包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层,所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧,并经所述隔离层密封结合成一体。本发明实施例提供的一种柔性电容式振动传感器,结构简单、制备工艺简便、灵敏度高、性能稳定、一致性好、成本低;以及,本发明提供的制作工艺可靠性更高,大大提高了柔性振动传感器的灵敏度;而且提高了器件的稳定性和良率。 |
