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柔性气体传感设备

基本信息

申请号 CN201922392163.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211263279U 公开（公告）日 2020-08-14
申请公布号 CN211263279U 申请公布日 2020-08-14
分类号 G01N27/00(2006.01)I 分类 -
发明人 刘瑞 申请（专利权）人 安徽芯淮电子有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 安徽芯淮电子有限公司
地址 235000安徽省淮北市经济开发区梧桐路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种柔性气体传感设备，其包括柔性敏感测试单元以及柔性封装单元，所述柔性封装单元包括具有透明窗口的柔性盖板，所述柔性盖板与所述柔性敏感测试单元密封结合形成一封装腔室，封装腔室与设置在柔性盖板上的至少一个气孔连通；柔性敏感测试单元包括依次叠层设置在柔性衬底上的绝热层、加热层、导热绝缘层以及气体敏感结构，气体敏感结构还与测试电极电连接；其中，至少所述气体敏感结构被设置在所述封装腔室中。本实用新型提供的柔性气体传感设备将全印刷工艺与半导体氧化材料相结合，不需经过光刻等工艺，避免了高温或化学腐蚀液体对柔性衬底或器件的损伤。