一种新型镀膜设备
基本信息
申请号 | CN202220708092.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216972712U | 公开(公告)日 | 2022-07-15 |
申请公布号 | CN216972712U | 申请公布日 | 2022-07-15 |
分类号 | C25D7/06(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I;C25D5/06(2006.01)I;C25D17/00(2006.01)I;C25D17/10(2006.01)I | 分类 | 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕; |
发明人 | 王天兵;贾斌;李学法;张国平 | 申请(专利权)人 | 江阴纳力新材料科技有限公司 |
代理机构 | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 214446江苏省无锡市江阴市璜土镇石庄华滨路26号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种新型镀膜设备,包括电源装置、镀槽装置和镀辊装置,镀槽装置包括用于盛装镀液的电镀膜主槽,镀辊装置包括阳极部、阴极部和设置在阴极部两侧的两个截液部,本实用新型的一种新型镀膜设备,阴极部位于镀液上方,阴极部的两侧还设置截液部,有效避免了阴极部被镀铜。能获得结晶细致连续的镀铜层,进而使磁控或蒸镀铜膜上电镀镀铜层的速度大大提高,缩短施镀时间。成功的解决了半成品薄膜被刺孔、烧孔、断膜、半成品薄膜膜面方阻降低比率不够高的问题,成品膜上方阻符合工艺要求,镀铜铜层间结合力符合工艺要求。 |
