一种新型镀膜设备

基本信息

申请号 CN202220708092.9 申请日 -
公开(公告)号 CN216972712U 公开(公告)日 2022-07-15
申请公布号 CN216972712U 申请公布日 2022-07-15
分类号 C25D7/06(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I;C25D5/06(2006.01)I;C25D17/00(2006.01)I;C25D17/10(2006.01)I 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 王天兵;贾斌;李学法;张国平 申请(专利权)人 江阴纳力新材料科技有限公司
代理机构 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 214446江苏省无锡市江阴市璜土镇石庄华滨路26号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型镀膜设备,包括电源装置、镀槽装置和镀辊装置,镀槽装置包括用于盛装镀液的电镀膜主槽,镀辊装置包括阳极部、阴极部和设置在阴极部两侧的两个截液部,本实用新型的一种新型镀膜设备,阴极部位于镀液上方,阴极部的两侧还设置截液部,有效避免了阴极部被镀铜。能获得结晶细致连续的镀铜层,进而使磁控或蒸镀铜膜上电镀镀铜层的速度大大提高,缩短施镀时间。成功的解决了半成品薄膜被刺孔、烧孔、断膜、半成品薄膜膜面方阻降低比率不够高的问题,成品膜上方阻符合工艺要求,镀铜铜层间结合力符合工艺要求。