一种石英晶体谐振器真空镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202021552892.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212293736U | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN212293736U | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 屈明明;王波;袁林花;温从众 | 申请（专利权）人 | 马鞍山恒明电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 243000安徽省马鞍山市慈湖高新区霍里山大道北段1669号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型包括支撑架和箱体，支撑架的左侧上方固定连接有箱体，箱体的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆，轴杆的侧壁上均连接有支撑板，支撑板的下表面开设有第一安装槽，第一安装槽内连接有加热机构，支撑板的上表面开设有第二安装槽，第二安装槽内连接有夹紧机构，真空泵上固定连接有真空管，真空管的另一端固定连接在箱体的右侧壁上。本实用新型通过将支撑板均匀固定连接在轴杆上，使得支撑板上的石英晶体谐振器在镀膜时，磁控靶能够扫射的面积更广，进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜，使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整。 |
