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一种ITO靶材的制备方法

基本信息

申请号	CN201110031669.3	申请日	-
公开（公告）号	CN102173817B	公开（公告）日	2013-05-08
申请公布号	CN102173817B	申请公布日	2013-05-08
分类号	C04B35/622(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I;C04B35/457(2006.01)I;C04B35/01(2006.01)I	分类	水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人	骆树立;王建堂;李庆丰;骆如河;骆如田;骆胜华;骆胜磊	申请（专利权）人	河北鹏达新材料科技有限公司
代理机构	北京中知法苑知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	常玉明;张兰海
地址	057250 河北省曲周县骆庄工业区
法律状态	-

摘要

一种ITO靶材的制备方法，其特征是：采用透射电镜下观察粒度在10—100纳米的氧化锡粉末和微米级氧化铟粉末，质量比为1∶9；采用湿法混合的方法将氧化锡粉末和氧化铟粉末混合均匀成ITO粉末，溶剂选择水、无水乙醇、丙酮或异丙醇；将ITO粉末放入球磨罐中，加入钢芯尼龙球，再加入溶剂，球磨24小时，吹干溶剂，过60目筛，在钢模具中以50MPa压强干压成型，再在280MPa下进行冷等静压，保压10分钟，然后在烧结炉中纯氧气气氛下1200-1600℃温度下进行烧结，保温2-3小时。本发明通过引入无团聚的粒度分布窄的纳米氧化锡，在不降低靶材密度的前提下，降低了ITO靶材的烧结温度，进而减小靶材的晶粒度，进而减少靶材的中毒；同时可以使用比较廉价的承烧板或者能够烧制更大的靶材。