一种ITO靶材的成型方法
基本信息
| 申请号 | CN201110031652.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102173816B | 公开（公告）日 | 2013-05-08 |
| 申请公布号 | CN102173816B | 申请公布日 | 2013-05-08 |
| 分类号 | C04B35/622(2006.01)I;C04B35/457(2006.01)I;C04B35/01(2006.01)I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 骆树立;王建堂;李庆丰;骆如河;骆如田;骆胜华;骆胜磊 | 申请（专利权）人 | 河北鹏达新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中知法苑知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 常玉明;张兰海 |
| 地址 | 057250 河北省曲周县骆庄工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种ITO靶材的成型方法，其特征是：有下述料浆制备、振动注浆、脱模干燥、冷等静压、烧结步骤完成：料浆的原料为共沉淀法制备的ITO粉或分别制备的ITO粉，加去离子水，加适量的分散剂和粘结剂，搅拌均匀后过300目筛，制成重量浓度为30-80％的料浆；在注浆的压力为0.1-3MPa、工作台的振动频率为1000-5000Hz下将料浆注入模具中，注浆时间为10-120分钟；脱模后的对坯体干燥，干燥温度为20-100℃；干燥后的毛坯经过冷等静压，压力范围100-350MPa；在常压下纯氧气氛下烧结，温度为1450-1650℃，保温时间为3-15小时。本发明可有效解决大尺寸的ITO靶材的应力问题和密度不均匀问题。 |
