一种单晶碱抛光添加剂、抛光液及抛光方法

基本信息

申请号 CN202110508319.5 申请日 -
公开(公告)号 CN113322008A 公开(公告)日 2021-08-31
申请公布号 CN113322008A 申请公布日 2021-08-31
分类号 C09G1/18(2006.01)I;B24B1/00(2006.01)I 分类 染料;涂料;抛光剂;天然树脂;黏合剂;其他类目不包含的组合物;其他类目不包含的材料的应用;
发明人 蒋旭东;朱进;蒋良平 申请(专利权)人 南京卓胜自动化设备有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 代理人 苏虹
地址 210000江苏省南京市雨花台区龙藏大道9号一层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种单晶碱抛光添加剂、抛光液及抛光方法,添加剂按质量百分比计,包括如下组分:有机硅0.1%~10%,光亮剂0.1%~10%,氟碳表面活性剂0.05%~1%,余量为水。采用本发明提供的单晶碱抛光添加剂,应用于单晶抛光工艺,可以得到背面光亮的单晶,同时大幅度增加反射率;该单晶碱抛光添加剂影响抛光平整度,增强反应速度。