一种硅片暂存机构
基本信息
| 申请号 | CN202021688084.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212570951U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212570951U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 蒋旭东;张弛;王志刚;王四海;蒋成斌;顾建 | 申请（专利权）人 | 南京卓胜自动化设备有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏虹 |
| 地址 | 210000江苏省南京市江宁区将军大道219号太平工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片暂存机构，包括升降机构和沿水平方向依次平行设置的若干暂存框，暂存框包括左右相对设置的暂存板，暂存板的内侧壁上设有沿其高度方向的若干组用于支撑硅片的暂存柱，暂存框的前后侧面贯通以使输送机通过，升降机构与暂存框相连并带动暂存框上升和下降。本实用新型的硅片暂存机构可实现多条输送机同时使用，采用一个升降机构即可实现多组暂存框的升降，大幅提高了工作效率。 |
