硅片料盒装置
基本信息
申请号 | CN202111053400.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113782472A | 公开(公告)日 | 2021-12-10 |
申请公布号 | CN113782472A | 申请公布日 | 2021-12-10 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 王志刚;蒋旭东;张弛;顾建;蒋成斌 | 申请(专利权)人 | 南京卓胜自动化设备有限公司 |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 张弛 |
地址 | 210000江苏省南京市雨花台区龙藏大道9号一层 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种硅片料盒装置,包括底板和设于底板上的多个托盘,还包括多个挡边机构,该挡边机构分别位于托盘的四周,每一挡边机构包括一下导柱、一上导柱以及一传送带;其中,每一下导柱设于底板上且朝上延伸,上导柱的下端与下导柱的上端滑配连接,且上导柱的延伸方向与下导柱的延伸方向一致;下导柱的下端设有一第一带轮,上导柱的上端设有一第二带轮,每一传送带与第一带轮和第二带轮同向配合;托盘具有与传送带相平行的侧边,传送带与托盘的侧边锁附连接以同步运行。 |
