一种硅片缓冲传输机构
基本信息
| 申请号 | CN202110530632.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113410168A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113410168A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;F16L41/03（2006.01）I;F16L41/16（2006.01）I;F17D1/04（2006.01）I;F17D1/065（2006.01）I;F17D1/20（2006.01）I;F17D3/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 周旋 | 申请（专利权）人 | 精技电子（南通）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226000江苏省南通市经济技术开发区中央路62号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片缓冲传输机构，设置在全自动高速硅片上料机与水平刻蚀流水线之间，所述全自动高速硅片上料机的料篮中硅片沿箭头指向分成n条传输轨道，所述硅片缓冲传输机构包括：气源以及至少1组气动缓冲装置，所述气动缓冲装置包括：电动阀、主气道以及多个分气道，利用气流控制硅片下落和移动速度，使得硅片能够快速高效的进行下料，满足高速生产的需要；消除硅片在上料机下料叠片过程中相互碰撞，避免硅片由于摩擦而导致硅片的边缘产生破损，减少碎片率和潜在应力隐患，提高太阳能电池的成品合格率。 |
