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一种晶圆传输装置

基本信息

申请号	CN202023343548.6	申请日	-
公开（公告）号	CN214797338U	公开（公告）日	2021-11-19
申请公布号	CN214797338U	申请公布日	2021-11-19
分类号	H01L21/66（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	张晖	申请（专利权）人	精技电子（南通）有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	226000江苏省南通市经济技术开发区中央路62号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开一种晶圆传输装置，包括上料装置、下料装置、探针测试仪以及位于上料装置和下料装置之间的生产线，上料基座上设置有传输装置；传输装置包括输入端伸缩传输装置、输入端主传输装置以及输入端660mm传输装置。下料装置包括下料基座；下料基座一侧同样设置有升降机构；所述下料基座上设置有输出端主传输装置；所述输出端主传输装置一侧设置有输出端660mm传输装置；所述输出端660mm传输装置一侧连接有升降机构；所述输出端660mm传输装置内设置输出端弹起装置。本实用新型通过设置检测装置，进行自我检测，能够减少晶圆不良率的产生；同时设置有通过工业相机自动获取晶圆的尺寸；对于传统设备，该晶圆传输设备具有高速度、高精度、高自动化的特点。