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一种晶圆测试用AMP板卡

基本信息

申请号 CN201521080789.2 申请日 -
公开（公告）号 CN205229404U 公开（公告）日 2016-05-11
申请公布号 CN205229404U 申请公布日 2016-05-11
分类号 G01R31/26(2014.01)I 分类 测量；测试;
发明人 朱琦亮;郑东来;徐四九 申请（专利权）人 上海威伏半导体有限公司
代理机构 上海精晟知识产权代理有限公司 代理人 上海威伏半导体有限公司
地址 201703 上海市青浦区崧秀路555号3幢1层G区134室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆测试用AMP板卡，所述晶圆包括若干个第一熔丝，所述晶圆测试用AMP板卡包括：电源单元、主控芯片、若干个供电切换单元、以及与若干个供电切换单元一一对应连接的若干个探针控制单元；所述主控芯片分别与所述电源单元、每个所述供电切换单元和每个所述探针控制单元连接，所述电源单元还与每个所述供电切换单元连接，所述探针控制单元包括第一继电器和第二熔丝，所述第一继电器通过所述第二熔丝与所述供电切换单元连接，所述第一继电器与对应的探针连接，所述探针与对应的所述第一熔丝连接。本实用新型的电路结构简单，设计合理，使用效果好，提高了测试效率，且能够保护探针控制单元。