工模具表面复合氮化物涂层制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN201710305268.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106967977B | 公开（公告）日 | 2019-03-15 |
| 申请公布号 | CN106967977B | 申请公布日 | 2019-03-15 |
| 分类号 | C23C28/00（2006.01）I; C23C14/14（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵海波; 刘亚; 鲜广; 梁红樱; 但秦 | 申请（专利权）人 | 成都真锐科技涂层技术有限公司 |
| 代理机构 | 成都虹桥专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 成都真锐科技涂层技术有限公司; 成都天科精密制造有限责任公司; 四川大学 |
| 地址 | 610052 四川省成都市成华区东三环路二段龙潭工业园成都真锐科技涂层技术有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种工模具表面复合氮化物涂层制备工艺，属于微纳米涂层技术领域，该工艺是在镀膜时，采用了真空离子蒸发镀与磁控溅射离子镀相结合的二元蒸发源技术；在N2与Ar的混合气氛下，通过电子束蒸发源蒸发Ti元素，形成传统的TiN薄膜，在沉积形成TiN膜的同时，通过磁控溅射源植入Me元素，在工模具表面镀制(Ti，Me)N层；所述Me为Ti、Al、Cr、Si中的至少一种。本发明工艺能够提高工模具的综合性能。 |
