一种复合石英坩埚的制备方法及复合石英坩埚
基本信息
申请号 | CN202010275959.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113510824B | 公开(公告)日 | 2022-07-05 |
申请公布号 | CN113510824B | 申请公布日 | 2022-07-05 |
分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B15/10(2006.01)I;B28B1/20(2006.01)I;B28B1/00(2006.01)I;B28B7/44(2006.01)I;B28B11/04(2006.01)I;C04B35/66(2006.01)I;C04B35/14(2006.01)I;C04B35/657(2006.01)I | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
发明人 | 韩东;郭华盈;刘攀;刘阳;王征;周俊祥 | 申请(专利权)人 | 隆基绿能科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 710100陕西省西安市长安区航天中路388号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供的一种复合石英坩埚的制备方法及复合石英坩埚,包括:沿坩埚模具的内侧面依次设置中位粒径依次减小的第一石英砂层、第二石英砂层和第三石英砂层,得到复合石英坩埚的料胚;对料胚进行电弧熔制以得到复合石英坩埚,复合石英坩埚包括由外侧面至内侧面气泡含量依次减小的气泡层、第一透明层和第二透明层。本发明中,由于料胚中第一石英砂层至第三石英砂层的中位粒径依次减小,因而利用所述料胚制备得到的复合石英坩埚中,气泡层至第二透明层的气泡含量依次减小,从而有效的降低了石英坩埚内侧面近表层的微气泡含量,使得在利用石英坩埚制备单晶硅的过程中,减小了微气泡发生破裂对正在生长的单晶硅的影响,提高了单晶硅的品质和成晶率。 |
