一种复合石英坩埚的制备方法及复合石英坩埚

基本信息

申请号 CN202010275959.1 申请日 -
公开(公告)号 CN113510824B 公开(公告)日 2022-07-05
申请公布号 CN113510824B 申请公布日 2022-07-05
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B15/10(2006.01)I;B28B1/20(2006.01)I;B28B1/00(2006.01)I;B28B7/44(2006.01)I;B28B11/04(2006.01)I;C04B35/66(2006.01)I;C04B35/14(2006.01)I;C04B35/657(2006.01)I 分类 加工水泥、黏土或石料;
发明人 韩东;郭华盈;刘攀;刘阳;王征;周俊祥 申请(专利权)人 隆基绿能科技股份有限公司
代理机构 北京润泽恒知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 710100陕西省西安市长安区航天中路388号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供的一种复合石英坩埚的制备方法及复合石英坩埚,包括:沿坩埚模具的内侧面依次设置中位粒径依次减小的第一石英砂层、第二石英砂层和第三石英砂层,得到复合石英坩埚的料胚;对料胚进行电弧熔制以得到复合石英坩埚,复合石英坩埚包括由外侧面至内侧面气泡含量依次减小的气泡层、第一透明层和第二透明层。本发明中,由于料胚中第一石英砂层至第三石英砂层的中位粒径依次减小,因而利用所述料胚制备得到的复合石英坩埚中,气泡层至第二透明层的气泡含量依次减小,从而有效的降低了石英坩埚内侧面近表层的微气泡含量,使得在利用石英坩埚制备单晶硅的过程中,减小了微气泡发生破裂对正在生长的单晶硅的影响,提高了单晶硅的品质和成晶率。