首页/ 江苏通鼎光棒有限公司/ 专利详情

一种在线监测OVD疏松体密度的设备及方法

基本信息

申请号 CN202110174684.7 申请日 -
公开（公告）号 CN112945797A 公开（公告）日 2021-06-11
申请公布号 CN112945797A 申请公布日 2021-06-11
分类号 G01N9/02;B25B11/00 分类 测量；测试;
发明人 沈小平;杨意;朱陈明;崔德运;梁伟;何炳;王樯 申请（专利权）人 江苏通鼎光棒有限公司
代理机构 天津合正知识产权代理有限公司 代理人 李成运;石熠
地址 215233 江苏省苏州市吴江区震泽镇八都小平大道8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种在线监测OVD疏松体密度的设备及方法，包括用来沉积疏松体的沉积腔，所述沉积腔内设有水平放置芯棒的夹具，夹具上方与芯棒平行方向安装有激光扫描测径系统，夹具下方安装有喷灯平台；所述激光扫描测径系统设有测径的激光装置；所述夹具内设有称重装置，所述控制器通过控制激光装置左右移动，每间隔固定距离进行直径测量与记录，直至完成对整个疏松体的直径连续测量，获得一组疏松体直径的数据，通过该组数据以及称重装置的数据，计算当前阶段疏松体密度，根据密度实时调整SiO2颗粒的形成。本发明在沉积过程中在线监测疏松体的直径，根据密度实时调整SiO2颗粒的形成，及时控制疏松体的密度，从而制备大尺寸预制棒。