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一种适用于过滤电子级磷酸的滤料

基本信息

申请号 CN201410544008.4 申请日 -
公开（公告）号 CN105561649A 公开（公告）日 2016-05-11
申请公布号 CN105561649A 申请公布日 2016-05-11
分类号 B01D29/05(2006.01)I;B01D29/58(2006.01)I;C01B25/234(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 王立平;王国强;王东辉;耿瑞娟;张颖 申请（专利权）人 洛阳盛洁环保科技有限公司
代理机构 洛阳市凯旋专利事务所 代理人 洛阳盛洁环保科技有限公司
地址 471000 河南省洛阳市高新技术开发区青城路北端
法律状态 -

摘要

摘要 一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层在PTFE滤布，所述两层PTFE滤布上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道，所述PTFE圆形通道的长度为8~12mm，所述PTFE滤布为高缜密基布，所述PTFE滤布的内表面覆有Gore膜，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜。本发明采用Gore膜对磷酸进行过滤,通过与PTFE滤布的复合使用，代替通常使用的化纤滤布进行过滤,可以控制微粒要求0.2μm以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20um线宽电路蚀刻。