一种钼平面靶材生产用中频炉的钨坩埚
基本信息
申请号 | CN202120361528.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214620616U | 公开(公告)日 | 2021-11-05 |
申请公布号 | CN214620616U | 申请公布日 | 2021-11-05 |
分类号 | F27B14/10(2006.01)I | 分类 | 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕; |
发明人 | 郭金洋;孙良;刘翠云;方宏 | 申请(专利权)人 | 丰联科光电(洛阳)股份有限公司 |
代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) | 代理人 | 逯雪峰 |
地址 | 471000河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区高新河洛路269号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种钼平面靶材生产用中频炉的钨坩埚,包括钨坩埚本体,钨坩埚本体为圆柱形,在钨坩埚本体的腔体内贴合腔体内壁设置有具有斜面的支撑台,支撑台由耐火材料砖制成,支撑台的横截面外周形状为弓形,弓形的圆弧与钨坩埚本体腔体在横截面相应高度的内壁相应段相贴合,且弓形的圆弧为优弧,支撑台底部外周的弧形为半圆弧或者优弧,斜面与钨坩埚本体腔体底部所在平面所成夹角为55~75度,在钨坩埚本体的腔体底部与支撑台相对的另一侧贴合钨坩埚本体腔体内壁设置有耐火材料砖制成的防滑凸台。能够有效保证钼平面靶材粉制板坯在烧制过程中不会变形,并且结构简单,易于装炉,生产效率高。 |
