一种长条型钼靶的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010536764.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111647860B | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN111647860B | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/10（2006.01）I;B22F3/20（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F5/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 方宏;孙虎民;岳灿甫 | 申请（专利权）人 | 丰联科光电（洛阳）股份有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 471000河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新河洛路269号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种长条型钼靶的制备方法，包括以下步骤：步骤一：选取适量的钼粉，进行胶套装粉，将装过粉的胶套进行冷等静压成型，得到坯体；步骤二：将步骤一得到的坯体在氢气保护气氛下进行烧结，得到烧结坯；步骤三：将步骤二得到的烧结坯先在氢气保护下进行加热，然后再进行热挤压，之后退火、校平；步骤四：将步骤三处理后的产品进行磨削等机加工，得到最终所需尺寸的钼靶材产品，本专利工艺步骤简单，制备的长条钼溅射靶材纯度、相对密度、晶粒度均满足TFT‑LCD显示镀膜领域使用需求，且生产成本低，产品尺寸宽泛，便于工业化批量生产。 |
