一种铌合金溅射靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110807705.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113584366A | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN113584366A | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | C22C27/02（2006.01）I;C22C14/00（2006.01）I;C22C1/04（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/15（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;B22F3/18（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F3/093（2006.01）I;B22F1/00（2006.01）I | 分类 | 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理; |
| 发明人 | 方宏;张雪凤;孙虎民 | 申请（专利权）人 | 丰联科光电（洛阳）股份有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳公信知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 宋晨炜 |
| 地址 | 471000河南省洛阳市中国（河南）自由贸易试验区洛阳片区高新河洛路269号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种铌合金溅射靶材及其制备方法，铌合金溅射靶材中含铌元素40~80份、钛元素20~60份；铌合金溅射靶材的制备方法为：将铌粉、钛粉、活性碳粉在保护气体作用下充分混合均匀得到混合粉末；然后将混合粉末装入胶套内，进行冷等静压成型，得到坯体；之后将坯体装入包套并进行真空除气，对除气后的包套进行热等静压处理，得到烧结坯；将烧结坯在保护气氛下加热，然后热轧、校平、退火，得到铌合金板坯；最后对铌合金板坯进行磨削加工，即得到铌合金溅射靶材。采用该方法生产的铌合金溅射靶材，纯度高，晶粒细小，可以用于制作在TFT‑LCD制程中与铜膜层配套使用的过渡层材料，在耐蚀性、热稳定性等方面与铜膜层具有良好的匹配性，改善TFT‑LCD制程中的不良。 |
