一种矩形波导微波等离子体光源

基本信息

申请号 CN201420777688.X 申请日 -
公开(公告)号 CN204272477U 公开(公告)日 2015-04-15
申请公布号 CN204272477U 申请公布日 2015-04-15
分类号 H05H1/46(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 于爱民;王振德;李成波;田福成;佟博凯;迟永庆;戴丰;白岗;杨兆芹;刘忠友 申请(专利权)人 长春吉大·小天鹅仪器有限公司
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 代理人 长春吉大·小天鹅仪器有限公司
地址 130012 吉林省长春市高新区创新路1203号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种矩形波导微波等离子体光源,包括矩形波导谐振腔,载气模块,调节模块,光路模块,电路控制系统,维持气控制系统,样品载气控制系统。本实用新型提供了一种矩形波导微波等离子体光源,激发能量可以从200瓦到数千瓦,在电路控制系统的作用下,微波能量在谐振腔中将通过的载气电离形成等离子体,这种等离子体含有样品光谱信息并可以通过光路模块传递出来,以实现对介质气中的物质进行分析的目的。