一种矩形波导微波等离子体光源
基本信息
申请号 | CN201420777688.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN204272477U | 公开(公告)日 | 2015-04-15 |
申请公布号 | CN204272477U | 申请公布日 | 2015-04-15 |
分类号 | H05H1/46(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
发明人 | 于爱民;王振德;李成波;田福成;佟博凯;迟永庆;戴丰;白岗;杨兆芹;刘忠友 | 申请(专利权)人 | 长春吉大·小天鹅仪器有限公司 |
代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 长春吉大·小天鹅仪器有限公司 |
地址 | 130012 吉林省长春市高新区创新路1203号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种矩形波导微波等离子体光源,包括矩形波导谐振腔,载气模块,调节模块,光路模块,电路控制系统,维持气控制系统,样品载气控制系统。本实用新型提供了一种矩形波导微波等离子体光源,激发能量可以从200瓦到数千瓦,在电路控制系统的作用下,微波能量在谐振腔中将通过的载气电离形成等离子体,这种等离子体含有样品光谱信息并可以通过光路模块传递出来,以实现对介质气中的物质进行分析的目的。 |
