一种坩埚内材料质量的在线测量装置和方法
基本信息
| 申请号 | CN201910574200.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112146730A | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN112146730A | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | G01G7/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李强;张明月;徐义 | 申请（专利权）人 | 北京顶荣光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种坩埚内材料质量的在线测量装置和方法，包括：从内向外依次设置的坩埚、工艺层、隔离层和壳体，设于坩埚与工艺层上的滑动机构、设于坩埚底部的限位块，位于限位块下方的隔离机构、磁力部、位置传感器和测量机构。磁力部的电磁铁与永磁体之间产生相斥的磁力，推动坩埚及与其固定连接的部件向上滑动，在位置传感器检测到坩埚的位置改变时，坩埚及与其固定连接的部件、磁力部均受力平衡，获取弹簧形变量，则可确定坩埚及与其固定连接的部件的重力，从而可在线测量坩埚及其内部材料的质量，实现在不进行停机且不破坏密闭环境的情况下，在线监控蒸发源的材料剩余量，为设备生产计划和工艺调试提供数据依据，提高生产效率。 |
