化学浴镀膜设备和化学浴镀膜系统

基本信息

申请号 CN201910595714.4 申请日 -
公开(公告)号 CN112174543A 公开(公告)日 2021-01-05
申请公布号 CN112174543A 申请公布日 2021-01-05
分类号 C03C17/22(2006.01)I 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 徐鑫照 申请(专利权)人 北京顶荣光伏科技有限公司
代理机构 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 代理人 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
地址 100176北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及镀膜领域,具体的涉及一种化学浴镀膜设备和化学浴镀膜系统。该化学浴镀膜设备,包括:镀膜腔室;柔性托盘,设置在所述镀膜腔室内,所述柔性托盘包括至少一个用于放置镀膜基板的容纳槽;传送装置,设置在所述镀膜腔室内,用于驱动所述柔性托盘绕所述传动装置转动;镀膜液喷射装置,设置在所述镀膜腔室内且位于所述柔性托盘的上方,用于向所述柔性托盘内喷射镀膜液。利用该设备能够解决目前镀膜工艺复杂、产能低的技术问题,达到简化工艺,提高产能的目的。