一种制备氧化亚硅的管式加热设备及其控制方法

基本信息

申请号 CN202111577168.5 申请日 -
公开(公告)号 CN114146639A 公开(公告)日 2022-03-08
申请公布号 CN114146639A 申请公布日 2022-03-08
分类号 B01J3/00(2006.01)I;B01J8/00(2006.01)I;B01J8/06(2006.01)I;C01B33/113(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 安学会;程进辉;张鹏;李迎春;高光平;倪狄 申请(专利权)人 上海煜志科技有限公司
代理机构 上海裕创慧成知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 黄裕
地址 201815上海市嘉定区兴文路885号6幢1层D区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种制备氧化亚硅的管式加热设备,其特征在于,包括:在制备氧化亚硅的管式加热设备的下方设置炉架底座;在炉架底座上方固定炉膛;在炉膛内横向穿入炉管结构;炉管结构通过法兰固定在炉膛上;主控系统对炉管结构进行温度控制;使炉管结构内设置的反应坩埚内制备氧化亚硅,并在炉管结构内的收集桶收集氧化亚硅粉末。解决了目前氧化亚硅生产装置由可抽真空的氧化铝陶瓷耐火管组成,工作时将混好的SiO2和Si置于密封管的一端,真空状态下加热至原料气化,然后沉积在耐火管另一端。但是这种装置存在着生产效率低、反应管极容易破裂等缺点的技术问题。