一种用蒸镀法制备氧化亚硅的设备
基本信息
| 申请号 | CN202123253027.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216712224U | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN216712224U | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | C23C14/26（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 安学会;程进辉;张鹏;李迎春;高光平;倪狄 | 申请（专利权）人 | 上海煜志科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海裕创慧成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201815上海市嘉定区兴文路885号6幢1层D区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用蒸镀法制备氧化亚硅的设备，包括：在用蒸镀法制备氧化亚硅的设备的外侧设置腔体；在腔体的内部通过石墨棒固定锤，将内炉膛悬空固定在腔体的内部；在内炉膛的内设置石墨桶；采用真空状态下，进行蒸镀，提高其生产效率；同时，采用了石墨桶，由于石墨桶的石墨发热体为面发热，能产生更加均匀热量，使得石墨箱体内的温度过渡更加均匀。有利于氧化亚硅的高纯度凝结，提升生产效率。同时采用石墨作为箱体材料，受热应力能力强，不容易破裂。解决了目前氧化亚硅生产装置由可抽真空的氧化铝陶瓷耐火管组成，存在着生产效率低、反应管极容易破裂等缺点的技术问题。 |
