耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201110167211.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102268646A | 公开（公告）日 | 2011-12-07 |
| 申请公布号 | CN102268646A | 申请公布日 | 2011-12-07 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李维民;戚祖强;赵艳;郭爱青 | 申请（专利权）人 | 深圳开发磁记录有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市隆天联鼎知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周惠来 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区彩田路7006号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种耐磨耐腐蚀不锈钢齿轮及其制造方法，该制造方法包括采用不锈钢材质制造出齿轮的主体的过程，还包括在该齿轮的主体表面进行真空电弧离子镀CrN层的过程，该CrN层的厚度为4-19μm、表面硬度为1400-2300HV。该齿轮包括不锈钢材质的主体和设置在该主体表面的Cr过渡层、CrN层，该Cr过渡层的厚度为200-1000nm。本发明可以提高化学机械抛光设备的中心齿轮的耐蚀性及耐磨性，增强其使用寿命，从而降低化学机械抛光工艺的成本。 |
