基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达
基本信息
| 申请号 | CN201810927949.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108983197B | 公开（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申请公布号 | CN108983197B | 申请公布日 | 2020-01-24 |
| 分类号 | G01S7/481 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张石;李亚锋;鲁佶 | 申请（专利权）人 | 武汉煜炜光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市六加知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳煜炜光学科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道长源社区学苑大道1001号南山智园C1栋901 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于激光雷达技术领域，公开了一种基于MEMS微镜的三维扫描激光雷达，包括发射激光器、准直光学元件、MEMS微镜阵列及探测器；所述发射激光器发出的探测激光信号通过准直光学元件准直至所述MEMS微镜阵列，经所述MEMS微镜阵列发射至探测目标；探测目标反射的探测激光信号接收至所述探测器；MEMS微镜阵列包括多个小微镜单元，多个小微镜单元呈二维阵列布置，所有小微镜单元均可在三维方向旋转。将单个小尺寸的MEMS微镜替换为大尺寸二维MEMS微镜阵列的设计，可解决MEMS微镜在大尺寸光斑激光雷达的应用限制问题，有助于实现激光雷达的远距离探测。 |
