晶片加工机台的基座结构
基本信息
| 申请号 | CN202020461829.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211320063U | 公开（公告）日 | 2020-08-21 |
| 申请公布号 | CN211320063U | 申请公布日 | 2020-08-21 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L33/48(2010.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 山本明;高志坚;韩晓慿 | 申请（专利权）人 | 捷姆富（浙江）光电有限公司 |
| 代理机构 | 杭州中利知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 卢海龙 |
| 地址 | 314408浙江省嘉兴市海宁市长安镇（高新区）新潮路东侧、春潮路北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶片加工领域，且公开了晶片加工机台的基座结构，包括基座底座，基座底座为长方体结构，基座底座的上表面固定安装有支撑柱，支撑柱共有四组，四组支撑柱分别位于基座底座的上表面四角位置，支撑柱的上表面固定安装有中层基座，中层基座的厚度是基座底座厚度的一半，基座底座的上表面固定安装有减震杆，减震杆共有九组，九组减震杆以三乘三的矩阵排列在基座底座的上表面中间位置，减震杆为圆柱体结构，减震杆的外圆处均套接有第一弹簧。本实用新型中，能够通过旋转微调螺丝对晶片加工机台进行高度校准，达到了启动晶片加工机台时晶片加工机台的水平高度绝对平稳，降低了晶片加工机台在生产高精度晶片元器件时的误差。 |
