一种半导体制造设备和工艺的智能控制系统
基本信息
| 申请号 | CN201810270121.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108470699B | 公开（公告）日 | 2019-12-06 |
| 申请公布号 | CN108470699B | 申请公布日 | 2019-12-06 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）; G06K9/62（2006.01） | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李健斌 | 申请（专利权）人 | 新沂市瓦窑工业园区有限公司 |
| 代理机构 | 北京华识知识产权代理有限公司 | 代理人 | 乔浩刚 |
| 地址 | 221400 江苏省徐州市新沂市瓦窑镇政通路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种半导体制造设备和工艺的智能控制系统，包括数据预处理单元、离群点检测单元、支持向量机训练单元、智能监控单元和持续学习单元；其中数据预处理单元包括预处理模块和聚类处理模块，预处理模块用于对半导体制造设备和工艺采集的数据采集的数据进行预处理，聚类处理模块通过全局K‑均值聚类算法对预处理模块预处理后的数据进行聚类处理；离群点检测单元对聚类处理后的数据进行离群点检测，得到离群点集。 |
