一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置
基本信息
| 申请号 | CN201420568335.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204144296U | 公开（公告）日 | 2015-02-04 |
| 申请公布号 | CN204144296U | 申请公布日 | 2015-02-04 |
| 分类号 | H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 罗洋;苏菁;杨明久;陈年果;李远;敬雪碧;马海文;汪涛 | 申请（专利权）人 | 四川汉能光伏有限公司 |
| 代理机构 | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭霞 |
| 地址 | 518129 广东省深圳市龙岗区坂田街道隆平路新天下工业城2栋一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，包括激光刻线机、太阳能电池板和固定架，太阳能电池板水平放置，激光刻线机位于太阳能电池板的下方，激光刻线机的激光发射孔正对太阳能电池板，太阳能电池板的上方设置有吸尘器和图像传感器，吸尘器和图像传感器均固定在固定架上，吸尘器的吸尘口朝向太阳能电池板并正对于激光刻线机的激光发射孔，图像传感器的图像采集端正对太阳能电池板，吸尘器的吸尘口与固定架之间的最小距离大于图像传感器的图像采集端与固定架之间的最小距离。本实用新型可以监控到每个产品的激光刻蚀效果，能够简化或取消人为抽检过程，提高生产效率，降低人力成本，提高产品质量、良率。 |
