一种PECVD系统的玻璃限位装置
基本信息
| 申请号 | CN201420567958.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204144232U | 公开（公告）日 | 2015-02-04 |
| 申请公布号 | CN204144232U | 申请公布日 | 2015-02-04 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 鄢开均;王建强;任适;汪涛 | 申请（专利权）人 | 四川汉能光伏有限公司 |
| 代理机构 | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭霞 |
| 地址 | 610200 四川省成都市双流县西航港街道长城路一段二号创业中心大厦101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PECVD系统的玻璃限位装置，包括卡片器本体，所述卡片器本体设置有电极板卡槽，所述电极板卡槽的左右两侧分别设置有第一隔板和第二隔板，所述第一隔板与所述卡片器本体之间形成第一玻璃板卡槽，所述第二隔板与所述卡片器本体之间形成第二玻璃板卡槽。本实用新型可以防止太阳能玻璃板和PECVD工件架的电极板摩擦，防止玻璃基板的受光面和膜面被划伤，降低外观、针孔等质量问题，同时可以节约生产人员的工作时间和技术人员因为外观和质量的问题而分析原因的时间。 |
