用于激光扫边设备的基于托盘的承载装置

基本信息

申请号 CN201420568372.X 申请日 -
公开(公告)号 CN204144234U 公开(公告)日 2015-02-04
申请公布号 CN204144234U 申请公布日 2015-02-04
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李远;马海文;陈年果;汪涛 申请(专利权)人 四川汉能光伏有限公司
代理机构 北京天奇智新知识产权代理有限公司 代理人 四川汉能光伏有限公司
地址 610200 四川省成都市双流县西航港街道长城路一段二号创业中心大厦101室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于激光扫边设备的基于托盘的承载装置,包括托盘、气浮平台和多个传动滚轮,所述气浮平台设置在所述托盘内,所述托盘的边缘设置有漏光槽,所述气浮平台的个数为两个,且两个气浮平台沿所述托盘的长中线对称分布,多个所述传动滚轮分为两组分别位于两个所述气浮平台的外侧,多个所述传动滚轮的转轴均与升降装置固定连接。本实用新型用于激光扫边设备的基于托盘的承载装置通过可升降的传动滚轮对芯片进行移动,使激光设备扫边时避免芯片刮擦气浮平台造成的外观受损。