PECVD沉积炉腔体接地装置
基本信息
| 申请号 | CN201420568886.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204144458U | 公开（公告）日 | 2015-02-04 |
| 申请公布号 | CN204144458U | 申请公布日 | 2015-02-04 |
| 分类号 | H01R4/66(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王建强;杨晓东;樊正海;汪涛 | 申请（专利权）人 | 四川汉能光伏有限公司 |
| 代理机构 | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 四川汉能光伏有限公司 |
| 地址 | 610200 四川省成都市双流县西航港街道长城路一段二号创业中心大厦101室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PECVD沉积炉腔体接地装置，包括底板和两个侧板，所述底板通过多个紧固件与所述沉积炉的接地线固定连接，两个所述侧板的第一端分别与所述底板的两条平行边缘固定连接，两个所述侧板的第二端相互靠近。本实用新型PECVD沉积炉腔体接地装置通过直接将接地铜片插入两侧板之间完成接地操作，操作方便，且制作成本低，既能达到良好的接地效果，又减少了该生产环节的生产时间，提高了生产效率，有效降低了生产员工在高温下操作的潜在伤害。 |
