一种合片工艺错位数据的检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202122720570.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215064358U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215064358U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | G01B11/02（2006.01）I;B23K37/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 任曙东 | 申请（专利权）人 | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 四川力久律师事务所 | 代理人 | 冯精恒 |
| 地址 | 611731四川省成都市高新西区科新路8-88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及公开了一种合片工艺错位数据的检测装置，属于半导体封装技术领域。包括：合片加工设备、PC端和至少两个内窥摄像头；所述合片加工设备包括：翻转台和载台，所述翻转台的一方设置有上框架，所述内窥摄像头设置在所述翻转台上，并且与所述上框架在同一方，所述内窥摄像头与所述PC端通信连接，所述载台设置在所述翻转台的下方，所述载台用于放置石墨盘。实现了实时监控生产线的生产数据，可以发现不同载体之间是否存在合片数据的差异，不会造成生产线料片的浪费节约了成本，可以做到每片、每时、每模监控，在后续出现异常时，便于调试与监控同时进行，若出现异常品，便于数据追踪，并且便于监控设备机台的稳定性。 |
