一种金属荫罩及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610844430.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106350769A | 公开（公告）日 | 2017-01-25 |
| 申请公布号 | CN106350769A | 申请公布日 | 2017-01-25 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C25D1/10(2006.01)I;C25D3/12(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 潘仲光;陈霞玲;童圣智 | 申请（专利权）人 | 常州友机光显电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京太合九思知识产权代理有限公司 | 代理人 | 常州友机光显电子科技有限公司 |
| 地址 | 213031 江苏省常州市新北区信息大道6号6栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例提供一种金属荫罩及其制备方法，所述方法包括：在100‑110℃下，以0.3‑0.4MPa的压力将感光膜贴覆在表面清洁平整的电铸基板上，形成具有感光层的电铸基板；以5‑30mj/cm2的曝光量，对所述感光层的预设区域进行曝光；将曝光后的具有感光层的电铸基板，进行显影、烘焙及浸洗处理，得到电铸阴极；使用所述电铸阴极进行电铸工艺，得到具有与所述预设区域图案匹配的金属荫罩。本发明实施例提供的金属荫罩及其制备方法，通过改变制膜的温度和压力增加感光膜在基板上的附着力，并通过优化曝光强度，实现在感光膜上制出微孔开口小至3μm的图形，从而制作得到开口尺寸在3‑40μm的金属荫罩。 |
