一种氮化铝基板表面处理设备
基本信息
申请号 | CN202023315953.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214265148U | 公开(公告)日 | 2021-09-24 |
申请公布号 | CN214265148U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
分类号 | B24B37/10(2012.01)I;B24B37/30(2012.01)I;B24B47/12(2006.01)I;B24B47/02(2006.01)I;B24B57/02(2006.01)I | 分类 | 磨削;抛光; |
发明人 | 戴玮明;胡娟;张卫杰;孟飞 | 申请(专利权)人 | 银川艾森达新材料发展有限公司 |
代理机构 | 北京弘权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明;许伟群 |
地址 | 750001宁夏回族自治区银川市经济技术开发区西区战略新兴材料加工区1号厂房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型属于氮化铝基板的加工技术领域,尤其是一种氮化铝基板表面处理设备,针对了对氮化铝陶瓷基板在进行研磨处研磨效果较差的问题,现提出如下方案,其包括工作台,工作台的顶部固定有安装架,工作台的顶部转动连接有放置座;本实用新型中通过电动推杆的推动,使得研磨盘与基板的表面接触,此时通过驱动电机的转动,带动研磨盘进行转动,传动轴进行同步转动,通过按压齿轮和转动齿轮的啮合传动作用,使得放置座与研磨盘呈反向转动,进一步提高基板的研磨效果,转动齿轮在转动的同时,带动从动齿轮同步转动,使得位于箱体内部的研磨液进行充分搅拌,通过喷头对基板的表面进行研磨液的添加,从而进一步提高基板在放置座上转动研磨的效果。 |
