束线型磁控溅射生产线
基本信息
| 申请号 | CN201820452561.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208201106U | 公开（公告）日 | 2018-12-07 |
| 申请公布号 | CN208201106U | 申请公布日 | 2018-12-07 |
| 分类号 | C23C14/35 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 金炯;杨林;姜琼 | 申请（专利权）人 | 杭州赛威斯真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 杭州天欣专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 杭州赛威斯真空技术有限公司 |
| 地址 | 310052 浙江省杭州市滨江区江虹南路60号2号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种束线型磁控溅射生产线，包括设置在支架上的进出样室、镀膜室、高温退火室，进出样室内固定设置有第一基片放置架，在高温退火室内设置有第三基片放置架，其特征在于：还设置有基片传送室、缓存室和第一升降机构，基片传送室分别连接进出样室、镀膜室、高温退火室和缓存室，第一基片放置架的下部连接第一升降机构，基片传送室内设置有一个旋转中心和机械手，机械手安装在旋转中心上，高温退火室包括高温室和退火室，在所述高温室和所述的退火室之间设置有第二隔热层，在高温室的上面固定设置有第一隔热层，所述的缓存室与进出样室为相同的结构。 |
