一种多元层状加硬涂层生长工艺
基本信息
申请号 | CN202011329138.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112458417A | 公开(公告)日 | 2021-03-09 |
申请公布号 | CN112458417A | 申请公布日 | 2021-03-09 |
分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 彭长明 | 申请(专利权)人 | 创隆实业(深圳)有限公司 |
代理机构 | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 王新爱 |
地址 | 518000广东省深圳市宝安区沙井街道共和第三工业区F区2栋 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明属于PVD磁控溅射技术领域,公开了一种多元层状加硬涂层生长工艺。本发明的多元层状加硬涂层生长工艺包括以下步骤:(1)将基材在自动化清洗线上完成液态清洗;(2)将基材放置于磁控溅射镀膜机内预抽真空;(3)在磁控溅射镀膜机内进行辉光清洗;(4)在磁控溅射镀膜机内进行膜层沉积,所述膜层沉积中包括沉积致硬层,致硬层的沉积中使用三种或三种以上靶材,获得三元或三元以上金属的碳化物或氮化物为单层结构堆叠形成的多层结构;(5)冷却出炉。该工艺通过在沉积膜层过程中依次呈层状沉积不同材料的氮化物或碳化物,形成不同材料的层状堆叠,达到致硬效果并抑制表面形貌粗化生长,在基材表面形成兼具防护及装饰作用的涂层。 |
