一种大功率磁控溅射靶PVD炫绿色涂层及其制备方法和应用

基本信息

申请号 CN202011329152.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112442671A 公开(公告)日 2021-03-05
申请公布号 CN112442671A 申请公布日 2021-03-05
分类号 C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/10(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 彭长明 申请(专利权)人 创隆实业(深圳)有限公司
代理机构 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 王新爱
地址 518000广东省深圳市宝安区沙井街道共和第三工业区F区2栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于PVD溅射技术领域,公开了一种大功率磁控溅射靶PVD炫绿色涂层及其制备方法和应用。本发明的大功率磁控溅射靶PVD炫绿色涂层是由钛硅底层和氧化钛+氧化硅的复合涂层构成,所述复合涂层是由n个氧化钛+氧化硅涂层组成,n为大于或等于1的整数,所述大功率是指的80A大功率,该炫绿色涂层是通过大功率磁控溅射靶获得,可以叠加复合,涂层颜色稳定,更亮更鲜艳,颜色层更厚更致密,耐磨性能良好,便于大批量生产。