一种TiB

基本信息

申请号 CN202011327116.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112458399A 公开(公告)日 2021-03-09
申请公布号 CN112458399A 申请公布日 2021-03-09
分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 彭长明 申请(专利权)人 创隆实业(深圳)有限公司
代理机构 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 王新爱
地址 518000广东省深圳市宝安区沙井街道共和第三工业区F区2栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于涂层材料制备技术领域,公开了一种TiB2/DLC涂层的制备方法及TiB2掺杂DLC涂层。本发明TiB2/DLC涂层的制备方法包括以下步骤:(1)将基材置于自动化清洗线完成液态清洗;(2)将基材放置于磁控溅射镀膜机内预抽真空;(3)在磁控溅射镀膜机内进行辉光清洗;(4)在磁控溅射镀膜机内进行膜层沉积;(5)冷却出炉;其中,膜层沉积过程中顶层的沉积采用PVD和离子源技术,对向放置线性离子源和TiB2靶材,可利用转架依次沉积层状非晶态DLC和晶态TiB2,形成晶态与非晶态的层状堆叠,如此以TiB2为掺杂元素制备得到的掺杂型DLC涂层内应力较低,同时保留了DLC涂层固有的优点,具有优异的力学性能。