任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统及其方法
基本信息
| 申请号 | CN201510203396.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104862669B | 公开（公告）日 | 2018-05-22 |
| 申请公布号 | CN104862669B | 申请公布日 | 2018-05-22 |
| 分类号 | C23C16/44 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 潘重光 | 申请（专利权）人 | 上海积导科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市新华专利商标代理有限公司 | 代理人 | 朱凌 |
| 地址 | 201600 上海市松江区茸华路629号8幢4层405-407室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种任意尺寸底板及显示屏的气相沉积荫罩板系统及其方法，包括一真空室，所述真空室内具有位于其中的M组荫罩板和沉积源；一基板，具有M个基本单元，每一基本单元均一致性地被分割为四个区域；一荫罩板和沉积源的传动装置，用于使所述M组荫罩板和沉积源同时在四个不同时间里且在所述真空室内依次进行平移，该M组荫罩板和沉积源分别依次对应于M个基本单元中每一基本单元的四个不同区域；其中，M为大于1的自然数。本发明具有能简化整个沉积系统、移动次数少以及能控制沉积材料的功效。 |
