感光性树脂组合物及层合体
基本信息
| 申请号 | CN200610094231.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1892424A | 公开（公告）日 | 2007-01-10 |
| 申请公布号 | CN1892424A | 申请公布日 | 2007-01-10 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 五十岚勉;山下英俊 | 申请（专利权）人 | 旭化成电子材料（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 段承恩;田欣 |
| 地址 | 日本东京都 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的感光性树脂组合物及感光性树脂层合体的显影液分散稳定性优异、不产生凝聚物、显影后的解像性及粘合性良好，可提供具有盖孔性和良好的耐蚀刻液性的感光性树脂层合体。本发明提供了含有(a)可溶于碱的高分子、(b)特定的光聚合性不饱和化合物、(c)光聚合引发剂的感光性树脂组合物及用其形成的感光性树脂层合物。 |
