一种多区域多源共蒸发系统
基本信息
| 申请号 | CN201621333368.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206232799U | 公开（公告）日 | 2017-06-09 |
| 申请公布号 | CN206232799U | 申请公布日 | 2017-06-09 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 温旭辉;苗长伟;李剑辉;张坚 | 申请（专利权）人 | 成都南光机器有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 成都南光机器有限公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市龙泉驿区星光西路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及CIGS薄膜制作领域，尤其涉及一种多区域多源共蒸发系统。本实用新型的目的在于提供一种在蒸镀过程中蒸镀材料的种类和顺序可以改变、PI衬板与蒸镀材料之间的距离可以调整的多区域多源共蒸发系统。其技术方案：一种多区域多源共蒸发系统，包括顺次连接的第一真空系统、放卷室、工艺区、收卷室、第二真空系统；所述工艺区设置有若干蒸镀区，蒸镀区开有空门，蒸镀区内放置有顶部开口的蒸镀箱，所述蒸镀箱内放置有蒸镀材料；所述工艺区顶部安装有气缸，气缸的活塞杆上连接有滚轮，放卷室和收卷室之间连接有PI衬底，滚轮将PI衬底压紧。本实用新型适用于不同产品的蒸镀，蒸镀效果好。 |
