磁控溅射镀膜机的工件转动装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

磁控溅射镀膜机的工件转动装置

基本信息

申请号	CN201220669495.3	申请日	-
公开（公告）号	CN202925091U	公开（公告）日	2013-05-08
申请公布号	CN202925091U	申请公布日	2013-05-08
分类号	C23C14/35(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	温旭辉;潘明元	申请（专利权）人	成都南光机器有限公司
代理机构	成都行之专利代理事务所（普通合伙）	代理人	成都南光机器有限公司
地址	610000 四川省成都市龙泉驿区星光西路115号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机的工件转动装置，包括承片结构（1）、转盘（2）、连接块（3）、大齿轮（6）、轴承（15）和动力装置（12），所述的转盘（2）通过连接块（3）与轴承（15）一端连接，所述的轴承（15）另一端与动力装置（12）连接，所述的大齿轮（6）固定在转盘（2）和轴承（15）之间，大齿轮（6）和转盘（2）两端分别用承片结构（1）相连接，还包括与大齿轮（6）垂直连接的自转大齿轮（7）、衬套（8）和大齿轮转动装置（5），所述的衬套（8）位于自转大齿轮（7）和轴承（15）之间，所述的大齿轮转动装置（5）与自转大齿轮（7）一端连接，大齿轮转动装置（5）内分布有电机。本实用新型通过上述结构，即可实现工件转动装置向任意方向的转动，能够更好的发挥镀膜机的功能，实现大型光学原件的多方向镀膜。