一种镀膜机用直接测温式工件盘装置
基本信息
申请号 | CN201921875472.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210974850U | 公开(公告)日 | 2020-07-10 |
申请公布号 | CN210974850U | 申请公布日 | 2020-07-10 |
分类号 | C23C14/22(2006.01)I | 分类 | - |
发明人 | 张鑫;周立庆;宁提;张坚 | 申请(专利权)人 | 成都南光机器有限公司 |
代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 成都南光机器有限公司 |
地址 | 610100四川省成都市龙泉驿区星光西路115号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种镀膜机用直接测温式工件盘装置,涉及镀膜机技术领域,本实用新型包括镀膜机上的回转轴,回转轴底部连接有工件盘,工件盘上设置有若干组测温装置,测温装置包括设置在工件盘顶部的铂电阻,铂电阻连接有数据线,本实用新型具有结构简单、可直接对工件盘测温、测温数据高的优点。 |
