一种镀膜机用直接测温式工件盘装置

基本信息

申请号 CN201921875472.6 申请日 -
公开(公告)号 CN210974850U 公开(公告)日 2020-07-10
申请公布号 CN210974850U 申请公布日 2020-07-10
分类号 C23C14/22(2006.01)I 分类 -
发明人 张鑫;周立庆;宁提;张坚 申请(专利权)人 成都南光机器有限公司
代理机构 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 代理人 成都南光机器有限公司
地址 610100四川省成都市龙泉驿区星光西路115号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种镀膜机用直接测温式工件盘装置,涉及镀膜机技术领域,本实用新型包括镀膜机上的回转轴,回转轴底部连接有工件盘,工件盘上设置有若干组测温装置,测温装置包括设置在工件盘顶部的铂电阻,铂电阻连接有数据线,本实用新型具有结构简单、可直接对工件盘测温、测温数据高的优点。