一种基片架翻转灵活的镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201720290604.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206538470U | 公开（公告）日 | 2017-10-03 |
| 申请公布号 | CN206538470U | 申请公布日 | 2017-10-03 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 崔海波;李剑辉;张坚 | 申请（专利权）人 | 成都南光机器有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 成都南光机器有限公司 |
| 地址 | 610000 四川省成都市龙泉驿区星光西路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型记载了一种基片架翻转灵活的镀膜机，包括机架，机架内设置有真空室，真空室上罩设有钟罩，真空室的上方转动设置有转台，转台的台边均匀设置有多个支板，支板的背面设置有星轮，星轮上连接有星轮轴，星轮轴穿过支板的一端连接有夹架；所述机架上设置有气缸以及与气缸活塞杆连接的拨杆，拨杆作用在星轮相邻的两个轮齿间。将待镀膜的基片卡设在夹架上，真空室内被加热的靶材蒸发后沉降在基片表面，此时拨杆处于收回状态，不会导致夹架翻转。待基片的第一面镀膜完成后，气缸将启动拨杆使之伸长作用在星轮的相邻两个轮齿间，星轮在转台的带动下将往前移动，由于拨杆的位置固定，星轮将实现翻转，本实用新型的翻转系统结构简单、翻转灵活。 |
