一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置
基本信息
| 申请号 | CN201921875473.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210974862U | 公开（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申请公布号 | CN210974862U | 申请公布日 | 2020-07-10 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 吴伟;周立庆;宁提;张坚 | 申请（专利权）人 | 成都南光机器有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 成都南光机器有限公司 |
| 地址 | 610100四川省成都市龙泉驿区星光西路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀膜机用可快速冷却的工件盘装置，涉及镀膜机技术领域，本实用新型包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，回转轴内开设有冷却液通道，工件盘内开设有与冷却液通道连通的循环冷却通道，本实用新型具有结构简单、可直接对工件盘快速降温、以满足特殊镀膜工艺需求的优点。 |
