一种晶圆清洗工艺任务排列方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202110557733.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113299587A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113299587A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱诚;李刚;童建 | 申请（专利权）人 | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道111-12号国家软件园鲸鱼座C403 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种晶圆清洗工艺在线任务排列方法及装置，根据待进入晶圆清洗系统的该批晶圆的清洗工艺信息，预估各个清洗槽、及入料工位、在各清洗槽之间传输和出料工位所需占用的时间段；将预估的时间段与已进入晶圆清洗系统的所有批次的晶圆所占用的时间段进行比较，最终得到进入时间，防止晶圆清洗时不同批次的晶圆发生冲突，节省了晶圆清洗系统总的工作时间，提高清洗效率。 |
